動圈武力馬達型單級電液伺服閥

單級電液伺服閥沒有先導(dǎo)級閥，由電氣機械轉(zhuǎn)換器和一級液壓閥構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)和原理均較簡單。圖10 (a)所示為動圈式力馬達型單級電液伺服閥結(jié)構(gòu)圖，它由力馬達和帶液動力補償結(jié)構(gòu)的一級滑閥兩部分組成。永久磁鐵1產(chǎn)生一固定磁場，可動線圈2通電后在磁場內(nèi)產(chǎn)生力，從而驅(qū)動滑閥閥心4運動，并由右端彈簧8作力反饋。閥左端的位移傳感器5可提供控制所需的補償信號。因閥心帶有液動力補償結(jié)構(gòu)，故控制流量較大，響應(yīng)快。額定流量為90～100L/min的閥在±40%輸入幅值條仵下，對應(yīng)相位滯后90°時，頻響為200Hz，常用于冶金機械的高速大流量控制。

動圈式力馬達型單級電液伺服閥的原理框圖如圖10 (b)所示。